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涡轮分子泵性能测试方法
发布时间:2015-05-15
【术语】
1、抽气速率(体积流率):泵装有标准测试罩并按规定条件工作.从测试罩流过气体量(Q)与测试罩上指定位置测得的平衡压力的之比,简称泵的抽速。
2、极限压力:泵装有标准测试罩并按规定条件工作,在不引入气体的正常工作情况下,趋向稳定的压力。
3、压缩比:泵入口的气流量为零,试验气体在前级区分压至少占全压的90%时,其前级压力与入口压力之比。
【试验装置】
1、测试罩:罩为圆筒形,其轴向尺寸为罩内径D的1.5倍。试验气体进气管口在测试罩轴线上,距泵入口法兰为D. 测全压力的规管接头距泵司法兰为0.5D,其轴线垂直于测试罩轴线;与此规管接头或90度另设一同样接头,用来连接残余气体分析仪。测试罩应配备烘烤装置。
2、真空计:真空计必须校准。对压力高于或等于lPa的真空计,其校准精度应在5%以内,对压力最于lPa的真空计,其校准精度应在10%以内。
3、气体流量测量装置:根据所测流量大小选择测量气流量的方法。
【测试方法】
1、采用"定压法"测试:将测试罩装在泵上,分子泵按规定条件运转。在整个测试过程中,室温应在15-25C之间的某一温度。测试时,温度允许变化lC。测试罩烘烤后,测试系统的温度应均匀,且在15-25C之间,温度变化不超过3C。
2、极限压力测量:分子泵启动1h后,烘烤测试罩,烘烤温度不超过120C。若泵备有烘烤装置,应按制造厂规定进行烘烤。烘烤持续时间不得超过24h.在烘烤期间及其以后,测量极限压力的热阴极电离计规管必须按制造厂规定进行去气,每10h进行一次,最末一次去气至少应在测量极限压力前5h进行。烘烤结束后48h内用热阴极电离计测得的压力,即为分子泵极限压力。此时,压力与时阔的关系曲线的斜率不应为正值。
【测试结果】
a.测试罩的尺寸及所用小孔直径的数据;
b.小孔流导及计算公式;
c.烘烤温度和持续时间;
d.所使用的全部测量仪表型号和操作条件
e.测试罩上各接头帘封形式;
f.所使用润滑油种类、数量;
g.前级泵类别、型号及抽速;
h.分子亵电机功率、消耗功率;
i.分子泵额定转速;
j.环境温度及大气压。


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